Выбор средств получения и поддержания вакуума

Для создания среднего и высокого вакуума применим магниторазрядный насос типа НМД-1 с предельным давлением рпр=7·10-8 Па и быстротой действия 1,2 м3/с.

Эффективную быстроту откачки в. откачиваемом объекте определим по формуле

Sэф1= Q/p=5·10-3/2·10-3=2,5 (м3/с)

Определим коэффициент использования высоковакуумного насоса. Пользуясь графиком на рисунке 3.1 [1] при n=3 находим для Sэф=2,5 м3/с оптимальное значение коэффициента использования Ки1=0,19.

Выбор средств получения и поддержания вакуума - student2.ru

Рисунок 3.1 – Оптимальные коэффициенты использования вакуумных насосов в зависимости от эффективной быстроты действия Sэф и числа элементов между насосом и откачиваемым объектов n.

Определим номинальную быстроту действия:

Выбор средств получения и поддержания вакуума - student2.ru

Выбираем магниторазрядный насос НМД-1 сдвумя блоками питания,имеет следующие характеристики:

Номинальная быстрота действия, м3 1,2
Диаметр входного патрубка, мм
Наибольшее рабочее давление, Па 2·10-1
Наибольшее давление запуска, Па 7·10-8
Предельное давление, Па  

Для создания разряжения для магниторазрядного насоса используем геттерно-ионный насос с предельным давлением рпр2=7·10-8 Па и быстротой действия от 0,8 до 10 м3/с. имеющий следующие характеристики

Рабочее давление геттерно-ионный насоса выбираем по максимальному выпускному давлению паромасляного насоса с коэффициентом запаса φ=2. Тогда

р2вып.1/φ=2·10-1/2=0.1 (Па)

Эффективную быстроту откачки

Sэф2=Q/p2

Sэф2=5·10-3/0.1=5·10-23/с)

Определим коэффициент использования геттерно-ионного насоса. Пользуясь графиком на рисунке 3.2 при n=4 находим для Sэф=5·10-2 м3/с оптимальное значение коэффициента использования Ки2=0,19.

Выбор средств получения и поддержания вакуума - student2.ru

Рисунок 3.2 Оптимальные коэффициенты использования высоковакуумных насосов в зависимости от эффективной быстроты действия Sэф и числа элементов между насосом и откачиваемым объектов n.

Определим номинальную быстроту действия

Выбор средств получения и поддержания вакуума - student2.ru

Выбираем сорбционный насос – ЭГИН-0.8/0.1 имеет следующие характеристики:

Номинальная быстрота действия, м3 0.8
Диаметр входного патрубка, мм
Диаметр выходного патрубка, мм
Наибольшее выпускное давление, Па 3
Предельное давление, Па 4·10-7

Рабочее давление спирального насоса выбираем по максимальному выпускному давлению геттеро-ионного насоса с коэффициентом запаса 2. Тогда р3вып.2/φ=3·100/2=1.5 (Па), что соответствует эффективной быстроте откачке

Sэф3=5·10-3/2·10--7=2.5·1043/с)

Определим коэффициент использования низковакуумного насоса. Пользуясь графиком на рисунке 3.3 при n=4 находим для Sэф=2.5·104 м3/с оптимальное значение коэффициента использования Ки2=0,98.

Определим номинальную быстроту действия

Выбор средств получения и поддержания вакуума - student2.ru

Рисунок 3.2 – Рекомендуемые коэффициенты использования Ки вращательных насосов в низковакуумных системах в зависимости от эффективной быстроты действия Sэф и числа элементов на участке от насоса до откачиваемого объекта n

Выбор средств получения и поддержания вакуума - student2.ru

Выбираем спиральный насос – ISP-1000 имеет следующие характеристики:

Номинальная быстрота действия, м3
Диаметр входного патрубка, мм
Диаметр выходного патрубка, мм
Наибольшее выпускное давление, Па 3
Предельное давление, Па 1

Наши рекомендации