Сделать вывод о возможности реализации полученного результата

Оценить инструментальную погрешность интерферометра, вызванную остаточными аберрациями измерительной ветви.

Задача № 2

Исходные данные в табл. 2; иллюстрация на рис. 2

Для контроля формы АП оптической детали со световым диаметром Dи толщинойdприменяется интерферометр, схема которого дана на рис. 2. Контролируемая поверхность описывается уравнением вида: x2 + y2 + a1 z + a2 z2 + a3 z3+ a4 z4 + a5 z5= 0.

Источник в интерферометре – He-Ne лазер, излучающий на длине волны l =0,6328 мкм. В качестве эталон-компенсатора используется плоско-выпуклая линза, выпуклая поверхность которой компенсирует аберрации нормалей контролируемой АП, а плоская поверхность выполняет функцию эталона. Показатель преломления стекла эталон-компенсатора дан в таблице 2.

Рассчитать параметры и характеристики измерительной ветви интерферометра в следующей последовательности:

1) для крайнего луча, идущего в сторону эталон-компенсатора, вычислить продольную аберрацию нормали Δs’n, а также угол jнаклона нормали к оптической оси;

2) вычислить радиус кривизны rк компенсирующей поверхности и толщину dв воздушного промежутка между контролируемой АП и компенсирующей поверхностью эталон-компенсатора;

3) вычислить необходимый световой диаметр Dк компенсирующей поверхности;

4) задать толщину эталон-компенсатора dк » Dк /10;

5) вычислить остаточные аберрации компенсационной системы в автоколлимационном ходе лучей (для пяти лучей) и построить график зависимости остаточных волновых аберраций от тангенсов апертурных углов лучей, входящих в измерительную ветвь интерферометра.

Примечание: остаточные волновые аберрации вычислять с помощью компьютерной программы для расчета реальных лучей через оптическую систему.

Начертить схему оптической системы измерительной ветви (в масштабе) с ходом лучей и сводкой конструктивных параметров.

Сделать вывод о возможности реализации полученного результата.

Оценить инструментальную погрешность интерферометра, вызванную остаточными аберрациями измерительной ветви.

Задача № 3

Исходные данные в табл. 3; иллюстрация на рис. 3

Для контроля формы АП оптической детали со световым диаметром Dи толщинойdприменяется интерферометр, схема которого дана на рис. 3. Контролируемая поверхность описывается уравнением вида: x2 + y2 + a1 z + a2 z2 = 0.

Источник в интерферометре – He-Ne лазер, излучающий на длине волны l =0,6328 мкм. В качестве эталон-компенсатора используется плоско-вогнутая линза, вогнутая поверхность которой компенсирует аберрации нормалей контролируемой АП, а плоская поверхность выполняет функцию эталона. Показатель преломления стекла эталон-компенсатора дан в таблице 3.

Рассчитать параметры и характеристики измерительной ветви интерферометра в следующей последовательности:

1) для крайнего луча, идущего в сторону эталон-компенсатора, вычислить продольную аберрацию нормали Δs’n, а также угол jнаклона нормали к оптической оси;

2) вычислить радиус кривизны rк компенсирующей поверхности и толщину dв воздушного промежутка между контролируемой АП и компенсирующей поверхностью эталон-компенсатора;

3) вычислить необходимый световой диаметр Dк компенсирующей поверхности;

4) задать толщину эталон-компенсатора dк » Dк /10;

5) вычислить остаточные аберрации компенсационной системы в автоколлимационном ходе лучей (для пяти лучей) и построить график зависимости остаточных волновых аберраций от тангенсов апертурных углов лучей, входящих в измерительную ветвь интерферометра.

Примечание: остаточные волновые аберрации вычислять с помощью компьютерной программы для расчета реальных лучей через оптическую систему.

Начертить схему оптической системы измерительной ветви (в масштабе) с ходом лучей и сводкой конструктивных параметров.

Наши рекомендации