Добавление схемы чтения выходного сигнала датчика

К имеющейся схеме акселерометра необходимо добавить электрическую схему для проведения полного переходного анализа поведения акселерометра.

Процедура	Детальное описание процедуры
1. Добавьте компоненты из библиотеки и соедините их в электронную схему	А. Добавьте компоненты, приведенные в таблице 3.4. Б. Соедините компоненты как показано на рис. 3.28.

Таблица 3.4. Электронные компоненты для схемы снятия сигнала с датчика.

Рисунок 3.28. Электронная схема снятия сигнала.

Процедура	Детальное описание процедуры
2. Задайте значения электронных компо- нент.	А. Выберите два резистора и задайте их со- противление 100meg. Б. Выберите два конденсатора и задайте их емкость 1p. С. Задайте параметры операционного уси- лителя a=100000 и fu=300meg.
3. Соедините электронную схему с акселе- рометром.	А. Удалите земляное соединение терминала M неподвижной гребенки (Straigth combs). Б. Соедините вход электронной схемы с подвижной гребенкой. В. Схема приведена на рис. 3.30, на рис. 3.29 приведена эквивалентная схема.

Рисунок 3.29. Электрическая эквивалентная схема МЭМС акселерометра и электроники.

Рисунок 3.30. Финальная схема акселерометра для переходного анализа.

Процедура	Детальное описание процедуры
4. Запустите переходный анализ.	А. Щелкните иконку переходного анализа . Б. На закладке Basic введите - End time 1.5m - Time step 100u - Monitor progress 10 С. Установите Run DC Analysis First на Yes
5. Прервите переходный анализ, когда он будет выполнен примерно на 50 процентов.	А. После того как в командном окне поя- вится сообщение о выполнении примерно 50 процентов моделирования нажмите Analyses > Interrupt.
6. Используйте пробник (Probe tool) для просмотра результатов на разных шинах: x, acceleration, и Vdemod.	А. В окне SaberSketch нажмите иконку WaveformProbe . Б. Щелкните на стрелку, ведущую к проб- нику и перетащите ее к шине x . При этом откроется окно с соответствующим графи- ком. В. Аналогично просмотрите результаты для acceleration и Vdemod. Г. Результаты переходного анализа приве- дены на рис. 3.31.

Рисунок 3.31. Результаты переходного анализа.

Процедура	Детальное описание процедуры
7. Перезапустите переходный анализ и изу- чите результат его полного выполнения.	А. В командном окне выберите Analyses > Continue > Transient. Б. После выполнения анализа изучите ре- зультаты (рис. 3.32). В. Сохраните результаты и закройте Archi- tect.

Рисунок 3.32. Полный переходный анализ.

Анализ технических характеристик микроэлектромеханического акселерометра с помощью метода конечных элементов.

Следующая секция демонстрирует:

- разбиение трехмерной модели на конечные элементы;

- проведение анализа на собственные колебания, используя МКЭ.