Спиральный безмасляный насос ISP-90

Формирование исходных данных для расчета

Описание установки

Вакуумная установка является достаточно универсальным устройством для нанесения тонкопленочных покрытий различного функционального назначения, в частности твердых нанокомпозитных.

Установка включает следующие функциональные блоки:

· Рабочая камера

· Система безмасляной вакуумной откачки

· Система охлаждения

· Система газораспределения

· Система измерения давления

· Система позиционирования образцов

· Система нагрева и контроля температуры образцов

· Технологические источники (несбалансированные магнетроны, ионные источники)

· Источники питания (магнетронов, ионных источников, нагрева, смещения подложки)

· Пульт управления с персональным компьютером

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали в виде цилиндра с боковым проемом, закрываемым дверью и водоохлаждаемыми стенками.

Технические параметры рабочей камеры:

Параметр	Значение
Размеры рабочей камеры, мм диаметр высота	800 800
Материал	12Х18Н10Т
Остаточное давление в камере, Па	не более 10-5
Максимальный размер образцов, мм	Ø 200 х 400
Количество образцов, шт.	4 - 12
Фланцы: ISO 250 ISO 160 KF 50 KF 40 KF 25	3 шт. 3шт. 3 шт. 1 шт. 3 шт.

Система безмасляной вакуумной откачки включает: форвакуумный спиральный насос с предельным давлением не более 5 Па; криогенный насос с сорбционной емкостью 2000 литров по аргону при 10^-6мм.рт.ст., вакуумный затвор, систему клапанов, систему вакуумных трубопроводов и сильфонов

Система замкнутого охлаждения обеспечиваетохлаждение технологических источников и вакуумной камеры и включает 4 канала. В состав системы охлаждения входят: система распределения воды и трубопроводы, датчики протока и термореле, клапаны для обеспечения дистанционного включения охлаждения, теплообменник с воздушным охлаждением.

В состав системы газораспределения входят: регуляторы расхода газа, клапаны и трубопроводы для распределения потоков рабочих газов в вакуумной камере.

В вакуумной камере расположена система позиционирования образцов. Количество устанавливаемых на манипулятор образцов размером Ø 200 х 400 мм - 4 шт. Манипулятор имеет 12 гнезд для установки образцов размером Ø 80 х 400 мм. Система перемещения позволяет изменять скорость и направление вращения подложки, а также сканирование (перемещение вперед-назад) возле заданного технологического устройства с высокой точностью. В состав системы позиционирования входят: манипулятор, электромеханический привод, магнитная муфта ввода вращения, блок управления

В вакуумной камере установлена система нагрева и контроля температуры. Система позволяет нагревать обрабатываемые образцы до температуры от 100 до 400 ⁰С и поддерживать необходимую температуру в процессе нанесения покрытий с точностью ± 5 ⁰С.

Установка оснащена двумя несбалансированными магнетронными распылительными системами и двумя ионными источниками с замкнутым дрейфом электронов.

Управление технологической установкой осуществляется от персонального компьютера в автоматическом или ручном режиме

Спиральный безмасляный насос ISP-90

Применение

Вакуумные насосы Anest Iwata модели ISP-90 используются сегодня во многих областях:

• системы напыления,
• системы для нанесения оптических покрытий,
• гелиевые течеискатели,
• ионная обработка,
• электронно-лучевые процессы,
• вакуумные печи,
• лабораторное оборудование,
• ускорители.

Преимущества

• полное отсутствие какого-либо потока масла в вакуумную систему;

• отсутствие генерации частиц износа;

• низкий уровень пульсаций и шума, практически отсутствует вибрация;

• хорошо сбалансированный рабочий механизм, который требует минимального пускового момента и выделяет минимум тепла при работе;

• малый вес, компактность и воздушное охлаждение насосов позволяют использовать их во многих приложениях, включая те, которые не могут быть реализованы с помощью традиционных насосов;

• высокая надежность, достигаемая за счет внедрения новых инженерных достижений (к последним внедрениям можно отнести улучшенную систему Air Flush удаления влаги и частиц из внутренней полости насоса, значительно увеличивающую ресурс подшипников, и технологии уплотнения вала и подшипников);

• стабильная производительность в широком диапазоне рабочих давлений.

• интервал сервисного обслуживания до 16'000 часов (в сравнении с 8'000 часами у других производителей).

Спиральный безмасляный насос	ISP-90
Скорость откачки, л/мин: при 50 Гц
Предельный вакуум, Па (Торр)	5 (0,038)
Потребляемая мощность, КВт	0,15
Уровень шума, дБ
Напряжение эл. питания, В
Вес, кг
Размер, ДхШхВ, мм	308 х 182 х 225
Входной присоединительный фланец	ISO NW 25

Крионасос CVP 25

Насос CVP 25 – сертифицированный (CE и SEMI) высокопроизводительный крионасос, предназначенный для использования в полупроводниковой промышленности, производстве светодиодов, медицинской диагностике, анализе состояния поверхностей носителей, а так же для различных исследований в высоком вакууме. Насос предлагается в двух различных исполнениях – стандартном и с быстрой регенерацией («Q»), а так же может быть снабжен фланцем по спецификации заказчика. Насос с опцией «Q» оснащен датчиком Пирани, продувочным клапаном, клапаном предварительной откачки и предохранительным клапаном, двухступенчатыми нагревателями и датчиками температуры.