По исследованию новых конструкционных материалов (фрагмент)

1. Характеристика научно-исследовательской работы

В настоящее время идет бурное развитие технологии производства интегральных схем и исследование новых конструкционных материалов для их производства.

Целью научной работы является разработка технологий плазмохимической очистки арсенид-галлиевых подложек, а также травления фоторезистивных и полиамидных пленок.

Основные задачи, решаемые в процессе НИР – это исследование процессов плазмохимической очистки арсенид-галлиевых подложек от органических соединений, а также травления фоторезистивных и полиамидных пленок с целью достижения заданных конструктивных параметров качества структур на подложке

Областью применения являются плазмохимические технологии при производстве интегральных микросхем на подложках арсенида галлия

Отработана технология плазмохимической очистки арсенид-галлиевых подложек, а также травления фоторезистивных и полиамидных пленок

В процессе исследования используются прикладные пакеты программ Microsoft Excel и MathCAD

2. Маркетинговая модель объекта бизнеса

В данном разделе целесообразно дать маркетинговую модель, рассмотрев продукцию, техническое решение с позиций маркетинговой операции: «по замыслу», «в реальном исполнении», «область применения» или «сервисное обслуживание» и «преимущества у потребителя и производителя» (рис1).

3. Оценка научной и научно технической результативности работы

Результатом НИР (научно-исследовательской работы) является достижение научного, научно-технического, экономического и социального эффекта.

Научный эффект характеризует получение новых научных знаний и отражает прирост информации, предназначенной для внутри научного потребления.

Научно-технический эффект характеризует возможность использования результатов выполняемых исследований в других НИР или ОКР и обеспечивает получение информации, необходимой для создания новой техники.

Экономический эффект характеризуется выраженной в стоимостных показателях экономией живого и овеществленного труда в общественном производстве, полученной при использовании результатов прикладных НИР.

Социальный эффект проявляется в улучшении условий труда, повышении труда, повышении экологических характеристик, развитии здравоохранения, культуры, науки, образования и т.д.

Рис 1. Маркетинговая модель научно-исследовательской работы

Оценка научной и научно-технической результативности для НИР производится с помощью коэффициентов, рассчитываемых по формулам (1) и (2):

(1)

(2)

Где и - соответствующие коэффициенты научной и научно-технической результативности;

- коэффициент значимости i-го фактора;

- коэффициент достигнутого уровня i – го фактора;

n, m – соответственно количество факторов научной и научно-технической результативности.

Для поисковых исследований рассчитывается коэффициенты научной и научно-технической результативности, используются различные факторы, влияющие на их количественную оценку.

В качестве факторов при оценке научной результативности могут быть приняты: новизна полученных или предполагаемых результатов; глубина научной проработки; степень вероятности успеха (при незавершенности работы). В качестве факторов при оценке научно-технической результативности могут применяться: перспективность использования; масштаб реализации; завершенность полученных результатов.

По каждому из факторов экспертным путем устанавливается числовое значение коэффициента значимости. При этом коэффициентов значимости по всем факторам должна быть равна 1.0. Коэффициент достигнутого уровня фактора устанавливается экспертным путем, а его числовое значение определяется с учетом качества признака фактора и его характеристики. При этом величина максимально возможное значение и равно 1,0. Чем ближе значения и к 1,0, тем выше научная и научно-техническая результативность проводимой НИР. В таблице 1 приведены факторы и признаки, характеризующие научную результативность, а в таблице 2 – научно-техническую результативность НИР, а также числовые значения и

Таблица 1 Характеристика факторов и признаков научной результативности рассматриваемой НИР

Фактор научной результативности	Коэффициент значимости фактора	Качество фактора	Характеристика фактора	Коэффициент достигнутого уровня
Новизна полученных или предполагаемых результатов	0.5	Новизна средняя	Установлены закономерности травления фоторезисторов различного химического состава и полиамидных пленок, а также отчистки подложек арсенида галлия от органических соединений, позволяющие в дальнейшем осуществлять данные технологические операции в технологическом процессе изготовления МИС на арсениде галлия	0.7
Глубина научной проработки	0.35	Глубина научной проработки средняя	Расчеты проведены в прикладном пакете программ Microsoft Excel и MathCAD объемны, но приведены в удобном для визуализации и обработки виде. Количество испытуемых образцов фоторезистора составляет 10 шт.	0.6
Степень вероятности успеха	0.15	Вероятность успеха большая	Параметры плазмохимической обработки рассчитаны достоверно, цель работы достигнута, успех весьма возможен	1.0

Таблица 2 Характеристика факторов и признаков научно-технической результативности НИР, рассматриваемых в данной работе

Фактор научно-технической результативности	Коэффициент значимости фактора	Качество фактора	Характеристика фактора	Коэффициент достигнутого уровня
Перспективность использования результатов	0.5	Важный	Результаты будут использованы в при создании обширной базы данных о плазмохимическом травлении фоторезистивных и полиамидных пленок, а также органических загрязнений, ускоряет выявление закономерностей протекания процессов плазмохимической обработки и упростят подбор технологических параметров обработки	0.8
Масштаб возможной реализации результатов	0.3	Масштаб отраслевой	Результаты данной НИР можно будет использовать через три года, когда аналогичные исследования будут проведены для других операций изготовления ИМС на арсениде галлия, а также по причине доработки технологического оборудования.	0.3
Завершенность полученных результатов	0.2	Завершенность высокая	Режимы обработки возможно использовать и на данный момент, но только для производства компонентов ИМС, не требующих дополнительной плазмохимической обработки.	1.0

Расчет коэффициентов научной и научно-технической результативности

Новизна полученных или предполагаемых результатов: =0,5. Качество фактора: среднее. Установлены некоторые общие закономерности, методы, способы, позволяющие создать принципиально новые виды техники =0,7.

Глубина научной проработки: =0,35. Качество фактора: среднее. Сложность теоретических расчетов не высока, результаты проведены на ограниченном количестве экспериментальных данных =0,6.

Степень вероятности успеха: =0,15. Качество фактора: большая вероятность успеха. Успех возможен, имеется большая вероятность положительного решения поставленных задач =1.

Перспективность использования результатов: =0,5. Качество фактора: важный. Результаты будут использоваться в конкретном научном направлении при разработке новых технических решений, направленных на существенное повышение производительности общественного труда в народном хозяйстве =0,8.

Масштаб возможной реализации результатов: =0,3. Качество фактора: отраслевой. Время реализации до трех лет. =0,3.

Завершенность полученных результатов: =0,2. Качество фактора: среднее. Техническое задание на прикладные НИР и ОКР. =1,0.

Таким образом, производится расчет коэффициентов научной и научно-технической результативности:

=0,5*0,8+0,3*0,3+0,2*1,0=0,69

=0,5*0,7+0,35*0,6+0,15*1,0=0,71

Вывод:

В ходе экономического обоснования НИР была создана маркетинговая модель НИР, проделана количественная оценка научной и научно-технической результативности НИР и получены соответствующие коэффициенты =0,69 и =0,71.

Значения полученных коэффициентов должны быть близки к 1,0, то есть наивысшему показателю, что показывает высокую результативность проведенной НИР.

В данном случае научная результативность средняя, а научно-техническая результативность значительно выше средней.

Пример 6