Локализация электронов в простейших наноструктурах
(размерное квантование)
В макромасштабе свободные электроны в твердом теле перемещаются по любому из трех пространственных направлений. В этом случае говорят, что электронный газ трехмерен.
Волна, соответствующая свободному электрону в твердом теле, может беспрепятственно распространяться в любом направлении. При уменьшении размеров полупроводникового прибора до микромасштабов это свойство также сохраняется вплоть до определенного предельного размера.
Ситуация кардинально меняется, когда электрон попадает в твердотельную структуру, размер которой L, по крайней мере в одном направлении, ограничен и по своей величине сравним с длиной волны де Бройля. Классическим аналогом такой структуры является струна с жестко закрепленными концами. Колебания струны могут происходить только в режиме стоячих волн с длиной волны
Эффект, возникающий при ограничении или лимитировании движения электронов физическими размерами области, в которой он находится, называется эффектом локализации или размерным квантованием или квантовым размерным эффектом.
Квантовый размерный эффект связан с квантованием импульса электрона. Вследствие чего непрерывный энергетический спектр электронов распадается на дискретные уровни, т.е. происходит квантование энергии спектра электрона.
В этом случае
В результате такого квантования электрофизические свойства электронов, например, удельное сопротивление образца, начинает осциллировать в зависимости от наноразмера образца. Проиллюстрируем графиком:
Эффекты такого рода наблюдаются в таких квантовых структурах, как тонкие полупроводниковые или металлические пленки, узкие приповерхностные области пространственного заряда (узкие каналы). В общем случае условно графически такие структуры можно изобразить:
В квантовой яме электроны проводимости локализованы по одному измерению и не локализованы по двум остальным в плоскости, перпендикулярной этому измерению, т.е. электроны в яме – двухмерный электронный газ.
Исторически эффекты такого рода впервые были экспериментально обнаружены в 60-х годах в тонких пленках.
В настоящее время технология изготовления полупроводниковых наноструктур находится на высоком уровне и продолжает быстро совершенствоваться.
Гетеропереходы типа
GaAs│AlxGa1-xAs,
где х – доля атомов галлия, замещенных атомами алюминия
и структуры типа МДП являются наиболее хорошо изученными типами квантоворазмерных наноструктур.
Совершенствование технологии сейчас позволяет получать гетеропереходы на основе и таких традиционных полупроводниковых материалов, как Ge и Si.
Существует ряд методов, позволяющих создавать структуры, в которых движение электронов имеет одномерный и даже 0 – мерный характер.
наноструктура | Размерность делокализации | Размерность локализации |
Объемный полупроводник | 3 (x, y, z) | |
Квантовая яма | 2 (x, z) | 1 (y) |
Квантовая проволока | 1 (z) | 2 (x, y) |
Квантовая точка | 3 (x, y, z) |
Понижение размерности структур, учет и использование новых физических явлений является одним из главных направлений развития современной наноэлектроники. При этом важнейшие характеристики приборов (например, быстродействие) значительно улучшаются, что можно проиллюстрировать:
Физически движение электронов в таких структурах эквивалентно их движению в потенциальной яме, т.е. в ограниченной области, отделенной от остального пространства потенциальными барьерами. Простейший пример потенциальной ямы – прямоугольный колодец с очень крутыми стенками.