Включение установки и получение высокого вакуума

· Открыть общий вентиль подачи воды на установку.

· Открыть вентиль подачи воды на диффузионный насос.

· Подать напряжение на установку включив тумблер «380 В 50 Гц» на панели 7 (рис.4).

· Включить вакуумметр ВИТ-3 (п.1 рис.4) для прогрева.

· Включить форвакуумный насос NL кнопкой «ПУСК NL».

· Включить диффузионный насос ND кнопкой «ПУСК ND» на панели 5 (рис.4). Выход диффузионного насоса в рабочий режим происходит через ~ 40÷45 мин.

· Открыть клапан VM2 установив тумблер VM2 (рис.4) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM2) индикаторная лампа зеленого цвета.

После выхода диффузионного насоса в рабочий режим погаснет индикаторная лампа красного цвета таймера времени на панели 7 рис.4.

· Закрыть клапан VM2 установив тумблер VM2 (рис.4) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM2) индикаторная лампа красного цвета.

· Открыть клапан VM1 установив тумблер VM1 (рис.4) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM1) индикаторная лампа зеленого цвета.

· После достижения разряжения в камере ~ 100 Па включить двухроторный вакуумный насос NZ кнопкой «ПУСК NZ» на панели 5 (рис.4). Создать в рабочей камере необходимое предварительное разряжение (соответствует 4 mV (5 Па) по шкале термопарного индикатора вакуумметра ВИТ – 3).

· Закрыть клапан VM1 установив тумблер VM1 (рис.4) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM1) индикаторная лампа красного цвета.

· Открыть клапан VM2 установив тумблер VM2 (рис.4) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM2) индикаторная лампа зеленого цвета.

· Открыть затвор VT установив тумблер VT (рис.4) в положении «Открыт».При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VT) индикаторная лампа зеленого цвета.

· Снять зависимость показаний ионизационного вакуумметра ВИТ-3 от времени работы диффузионного насоса с момента его включения. Отсчет давления следует проводить через равные промежутки давления (1 мА). Откачку производить до давления = 5*10^-7 мА по показаниям ионизационного вакуумметра.

· Зафиксировать диапазон (начальное и конечное значение) давлений при работе двухроторного и диффузионного насоса.

· Напустить воздух в систему (см. п. 4.3).

· Построить график зависимость давления в установке от времени откачки (по оси абсцисс - время в секундах, по оси ординат- давление в Па или мм.рт.ст.)

· Определить режимы течения газов при работе насосов и рассчитать проводимость трубопровода (Приложение А) при этих режимах.

· Определить эффективную скорость откачки и коэффициенты использования насосов при данных условиях.

Результаты работы представить в виде таблиц

Таблица 1

Время откачки (сек)	Давление (мА)	Давление (Па)

Таблица 2

	Диапазон давлений	Режимы течения газа	Проводимость (м3/с)	Эффективная быстрота откачки (м3/с)	Коэффициент использования насоса
ДВН-50
Н-250

1.3 Разгрузка (загрузка) рабочей камеры

Разгрузка рабочей камеры осуществляется в следующем порядке:

· Закрыть затвор VT установив тумблер VT (рис.4) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VT) индикаторная лампа красного цвета.

· Открыть клапан VE1 установив тумблер VE1 (рис.4) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VE1) индикаторная лампа зеленого цвета.

После проведения указанных операций произойдет напуск атмосферы в рабочую камеру. Загрузка рабочей камеры осуществляется в следующем порядке:

· Закрыть двери рабочей камеры и зафиксировать их защелками.

· Закрыть клапан VЕ1 установив тумблер VЕ1 (рис.4) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VЕ1) индикаторная лампа красного цвета.

· Закрыть клапан VM2 установив тумблер VM2 (рис.4) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM2) индикаторная лампа красного цвета.

· Открыть клапан VM1 установив тумблер VM1 (рис.4) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM1) индикаторная лампа зеленого цвета.

· После достижения разряжения в камере ~ 100 Па включить двухроторный вакуумный насос NZ кнопкой «ПУСК NZ» на панели 5 (рис.4). Создать в рабочей камере необходимое предварительное разряжение (соответствует 4 mV (5 Па) по шкале термопарного индикатора вакуумметра ВИТ – 3).

· Закрыть клапан VM1 установив тумблер VM1 (рис.4) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM1) индикаторная лампа красного цвета.

· Открыть клапан VM2 установив тумблер VM2 (рис.4) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM2) индикаторная лампа зеленого цвета.

· Открыть затвор VT установив тумблер VT (рис.4) в положении «Открыт».При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VT) индикаторная лампа зеленого цвета.

Выключение установки

Выключение установки производится в обратном порядке.

· Закрыть затвор VT установив тумблер VT (рис.4) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VT) индикаторная лампа красного цвета.

· Открыть клапан VE1 установив тумблер VE1 (рис.4) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VE1) индикаторная лампа зеленого цвета.

· Выключить диффузионный насос ND кнопкой «СТОП ND» на панели 5 (рис.4). Охлаждение диффузионного насоса займет примерно 40÷45 мин.

· Открыть клапан VM2 установив тумблер VM2 (рис.4) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.4) должна загореться соответствующая (VM2) индикаторная лампа зеленого цвета.

· Выключить двухроторный вакуумный насос NZ кнопкой «СТОП NZ» на панели 5 (рис.4).

· Выключить форвакуумный насос NL кнопкой «СТОП NL».

· Выключить вакуумметр ВИТ-3 (п.1 рис.4).

· Убрать напряжение с установки выключив тумблер «380 В 50 Гц» на панели 7 (рис.4).

· Закрыть вентиль подачи воды на диффузионный насос.

· Закрыть общий вентиль подачи воды на установку.

Приложение А

Таблица А.1

ДВН - 50	Н - 250
Быстрота действия насоса, м3/с	0,05	Быстрота действия насоса, м3/с	2,15
Вспомогательная линия	d, см	7,3	Основная линия	d, см
L, см		L, см

Отчет по лабораторной работе студента должен включать:

- титульный лист;

- цели выполнения лабораторной работы;

-схема установки и описание её работы;

- результаты работы (таблицы, графики, расчет);

- обсуждение результатов выполнения лабораторной работы в виде кратких доказательств и выводов.

Оформление текста отчета выполняется в соответствии с общими требованиями СТО ТПУ 2.5.01-2006. Титульный лист отчёта приведён ниже.

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

«НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ

ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»

Институт – Физико-технический

Кафедра – водородной энергетики и плазменных технологий

Направление –

Название работы

Отчет по лабораторной работе №__

по дисциплине «Вакуумное оборудование плазменных и ускорительных систем»

Студент гр.	________________________		И.О. Фамилия
	(подпись)
	________________________
	(дата)
Руководитель
ассистент кафедры ВЭПТ	________________________		А.В. Юрьева
должность	(подпись)
	________________________
	(дата)

Томск 2013