Дифференциальные схемы емкостных датчиков
А) Мостовая схема представлена на рис. 3.12.
Рис. 3.12
Балластные резисторы R и емкостные преобразователи CS1иCS2 образуют плечи измерительного моста. В одну диагональ моста включен источник переменного напряжения, а с другой диагонали снимается выходное напряжение, которое подаётся на дифференциальный усилительный каскад.
Под действием внешнего воздействия ёмкости конденсаторов изменяются на ±ΔС, т.е. ёмкость одного конденсатора возрастает, а другого –уменьшается (рис. 3.13). При этом нарушается баланс моста и на выходной диагонали моста появляется выходной сигнал.
Рис. 3.13
Б) Схема «конденсатор – диод» представлена на рис. 3.14.
Рис. 3.14
При положительном полупериоде диоды VD1 и VD4 открыты, конденсаторы (C3; CS1) и (C4; CS2) образуют делители напряжения. В точках c и d формируется положительное напряжение (рис. 3.15). Напряжение в точке а совпадает с напряжением в точке c, а в точке b –с напряжением в точке d. Выходное напряжение U=uab.
При отрицательном полупериоде диоды VD2 и VD3 открыты, конденсаторы (C4; CS1) и (C3; CS2) образуют делители напряжения. В точках c и d формируется отрицательное напряжение. Напряжение в точке а совпадает с напряжением в точке d, а в точке b –с напряжением в точке с. Выходное напряжение U=ubа.
Таким образом, полярность выходного сигнала не изменяется.
Если емкости C3= C4 и CS1= CS2, то напряжения Uc=Ud и выходное напряжение U=0.
Если CS1< CS2, то напряжения |Uc|>|Ud|и выходное напряжение U>0.
Если CS1> CS2, то напряжения |Uc|<|Ud|и выходное напряжение U<0.
Величина выходного напряжения зависит от разности (CS1- CS2):
.
Рис. 3.15
Ошибки емкостных датчиков
Ошибки могут емкостных датчиков могут возникать из-за
• появления паразитных емкостей;
• влияния температуры на d и e ;
• неидеальности формы электродов.
Учёт ошибок особенно важен при измерении малых перемещений (рис. 3.16).
Рис. 3.16
Непараллельность пластин приводит к тому, что эквивалентная схема представляется двумя параллельными конденсаторами, ёмкости которых отклоняются от идеального случая. Отклонение реальной ёмкости от идеальной оценивается величиной
Погрешность реальных емкостных датчиков составляет около 0,01%.
Примеры приложений
В этой главе указывалось, что емкостные датчики обычно применяются в тех случаях, когда входной сигнал приводит к механическому перемещению или изменяет диэлектрические и геометрические параметры измерительных конденсаторов:
- измерение механического перемещения, акселекрометры;
- измерение малых расстояний, профилометры. Измерение в пределах 200 микрон проводится с точностью до 0,01% ≈ 20 нм
- измерение уровня жидкости или сыпучих тел (рис. 3.17).
Рис. 3.17