Некоторые специальные показатели
7. Коэффициент термо ЭДС: αт=(102…104) мкВ/К, т.е. α на 2-4 порядка выше, чем у проводников.
Рис12.
Полупроводниковый материал определенных типов проводимости при помещении его концов в условия с различным t=0° может служить термогенератором. По знаку термоэдс можно определить тип проводимости полупроводника ( термозонд)
Появление ЭДС между местами полупроводников с различной t° - эффект Зеебека
α – коэффициент Зеебека (Коэффициент термоэдс)
α – соответствует напряжению ΔU при изменении t° ΔT=1°K. Применяется для создания термодатчиков
Эффект Пельтье – выделение или поглощение теплоты в месте контакта полупроводников (из за разной работы выхода) при прохождение через контакт электрического тока. Один из контактов нагревается, другой охлаждается.
– количество теплоты, выделенное или поглощённое за единицу времени при единичном токе. П – коэффициент Пельтье. q- заряд, протекающий через контакт.
Используется в термостатах, холодильниках, термоэлектрических генераторах
Эффективность использования в термоэлектрических устройствах характеризуется
Z - коэффициент термоэлектрической эффективности (Коэффициент Иоффе)
γ - Проводимость
λ – Коэффициент теплопроводности
при Z=3*10-3 °K-1 , К.П.Д.=30%
8. Коэффициент Холла
При протекании тока через полупроводник, помещенный в магнитное поле, появляется ЭДС εХолла.
Рис.13.
Сила Лоренца υ-скорость носителей заряда.
Тип определяется по правилу левой руки. Знак левого потенциала соответствует типу проводимости.
– p-тип; – n-типа; А=1..2 для вырожденных полупроводников.
9. Эффект Ганна (Генератор Ганна)
Рис.14.
В полупроводниках при достижении критической напряженности электрического поля (сотни кВ/м) возбуждаются электрические колебания высокой частоты. Используются для усиления и генерации маломощных колебаний на частотах от 0,1 до 100 ГГц (Гига – 109)
Частота зависит от геометрических размеров проводника. Наблюдается в GaAs, GaP, и InP.
Пороговая напряженность Е: GaAs – 0.3 МВ/м
InP – 0.6 МB/м
Наличие эффекта связано с особой энергетической диаграммой арсенида галлия(фосфида индия)
Лекция 4
Германий(Ge)
ΔЭ=0,7 эВ. Подвижность концентрация носителей заряда n0=2.5*1019м-3; Aвых=4.8 эВ
Исторически первый полупроводниковый материал, предсказан в 1870 году Менделеевым, получен в 1886 году в чистом виде немецким ученым Винклером. Широко используется с 1948 года, когда был изобретен полупроводник - транзистор, содержание в земной коре – невелико ~ 7*10-4% Сильно рассеян в различных минералах.
Получают из тетрахлорида Ge: GeCl4, который сначала переводят в диоксид GeO2, а затем в водородной печи восстанавливают Ge при t=650÷700 °C
Серый порошок Ge который используется в качестве исходного материала для получения особо чистого Ge.
Для очистки – метод зонной плавки.
Рис.15.
Ge нагревается до tпл=936°C
Примеси обладают большей растворимостью в жидкой фазе чем в твердой, поэтому они последовательно переходят в растворимую фазу и концентрируется у одного конца. Затем загрязненный конец слитка (2-2,5 см) образуется и отправляется на переплавку. Контроль чистоты ведут по удельному сопротивлению ( Далее идет получение монокристалла по методу вытягивания из расплава поликристалла. ( метод Чохральского)
Рис.16.
Давление в рабочем пространстве ≈10-5 мм.рт.ст.
В расплав медленно вводится затравка, ориентированная в определенном кристаллическом направлении монокристалов. После того как затравка оплавится, ее медленно поднимают. За ней за счет поверхностного натяжения вытягивается столбик расплава. Попадая в область низких температур над поверхностью тигля, расплав кристаллизуется. Диаметр кристалла зависит от температуры расплава (чем больше t°, тем меньше Ø) получаемые диаметры слитков достигают 150 мм. На дне остаются примеси которые подлежат дополнительной очистке.
При вытягивании в кристалл вводят (сплавляют) в строго контролируемом количестве примеси для получения p- или n- типа проводимости (In-p; As-n) потом слитки распиливают на заготовки.
Применение.
Изготовление выпрямителей, транзисторов, преобразователей Холла, счетчиков ядерных частиц, оптические свойства (max фотопроводимости в инфракрасном диапазоне при λ=1,5 мкм) используются при изготовлении фототранзисторов и фоторезисторов.
Недостатки.
Низкий температурный диапазон – до 70°С (выше значительно возрастает обратный ток), сложный технологический цикл, необходимость в защитной пленке, т.к. не окисляется. Удельная проводимости n- типа и p-типа отличаются, следовательно, не создать комплементарные пары.
Марки: ГЭС – Ge электронной проводимости, легированной сурьмой; ГП1- Ge поликристаллический; ГДГ – Ge с дырочной проводимостью, легированный галлием
Кремний (Si);
ΔЭ=1, 12 эВ
м-3
Обладает уникальным набором физико-химических свойств, что позволило за короткое время создать современную технологию изготовления интегральных схем.
Преимущества
1. Tраб=180-200°С (для Si приборов)
2. Обладает защитной окисной пленкой SiO2 ,которая является одновременно хорошим диэлектриком и защитой от агрессивных сред. Благодаря пленке SiO2, создавалась планарная (плоская, поверхностная) технология, которая предусматривает изготовление в единичном технологическом цикле одинаковых элементов большой серии. [При планарной технологии на входе имеется подложка (пластины) с кристаллической структурой, кристаллографическая ориентация которой, вплоть до межатомных расстояний, строго контролируется. В приповерхностном слое создаются области с различным типом проводимости. Выше - слой (маска) проводящего материала, чередующегося с диэлектриком. Т. о. формируется структура полупроводникового прибора, или МС.]
3. Изменение удельной проводимости в зависимости от различных факторов, полупроводников p-типа и n-типа одинаковы, следовательно, существует возможность создания комплементарных транзисторных пар (сходные по абсолютному значению параметров пара транзисторов, имеющих разные типы проводимости)
4. Распространен в земной коре ≈30% Si
5. Технология проще.
Технологический Si ( ̴1% примеси) получают в электрических печах восстановлением его оксидов, углеродосодержащим веществом (коксом)
Выращивание объемных монокристаллов осуществляется методом вытягивания из расплавов зонной плавки. TплSi=1414°С. Зонную плавку ведут без графитовой лодочки и кварцевого стекла (Тпл.кв.ст ≈1700°С), т.к. из них в Si могут попасть C2 и O2 , в камерах из тугоплавкого металла. При вертикальном расположение стержней Si узкая расплавленная зона удерживается вследствие большого поверхностного натяжения и малой плотности.
Si (2.3 T/м3, а у Ge – 5.3 T/м3)
6. Обладает высоким (собственная проводимость) и очень сильно зависит от примесей (1…107 Ом*м)
Применение: Основной материал для изготовления полупроводниковых приборов: диодов, транзисторов, фотоэлементов, тензопреобразователей и твердых микросхем.
Селен Se;
ΔЭ=1,7-1,9 эВ; В Земле 4*10-5%; Тпл=221°С; d=4,8 T/м3
VI группа
Получают при электро очистке меди. Существует в кристаллах и в аморфном виде. ρ изменяется в очень широких пределах:1-1011 Ом*м и зависит от рода и концентрации примесей, температуры, освещенности. Обычно полупроводник p-типа; Тпл=200°С – низкий температурный диапазон.
Применяется для изготовления фотоэлементов и выпрямителей (высоковольтных), плазменных лазеров с колоссальный (около 1012) усилением в ультрафиолете.
В последнее время применение существенно сократилось.
Применяется для изготовления фотоэлементов и выпрямителей(высоковольтных), плазменный лазер с колоссальный (около 1012) усилением в ультрафиолете.
Бинарные полупроводниковые соединения Alll BV
Элементы с меньшим порядковым № таблицы Менделеева обозначаются А, а с большим В.
Такие соединения являются ближайшими аналогами Si
lll группа (Br,Al,Ga,In)
V группа(N,P,As,Sb)
N- нитриды;
P-фосфиды;
As-арсениды;
Sb-антимониды;
Все они имеют кристаллическую структуру
Классифицируются по металлоидному элементу
Параметры | GaAs | GaP | InAs | InSb | SiC |
t°C плавления | |||||
рабочая t°C | низкая | низкая | >600 | ||
Подвижность дырок м2/(В*с) | 0.045 | 7.5*10-3 | 0.045 | 0,75 | 6*10-3 |
Подвижность электронов м2/(В*с) | 0.95 | 0.019 | 3.3 | 7,8 | 10-1…10-2 |
Коэффициент теплопроводности Вт/(м*К) | - | - | 0.05 | ||
Ш33 при 300°К, эВ | 1.43 | 2.26 | 0.36 | 0,18 | 2.4…3.3 |
Диэлектрическая проницаемость, ε | 10.9 | 13.3 | 6.7 |
SiC- карбид кремния
ΔЭ = (2,8…3,1)эВ
В природе это муассанит - редкий минерал стехиометрический состав которого содержит 70%Si и 30%C получается восстановлением из диоксида Si(SiO2) кварцевого песка углеродом
После размола получается порошок с зубчатыми зернами различной величины (40…300мкм)
Электропроводность порошка SiC зависит:
· От проводимости γ зерен исходного материала
· От крупности помола (при увеличении зерна, проводимость уменьшается)
Рис.17.
· Степени сжатия частиц
· Напряженности Е электрического поля
· Температуры t°C среды
Вследствие всех этих факторов проводимость носит нелинейный характер, это используется в варисторах.
Рис.18.
0 до V1 – ток идет через запирающие слои на контактирующих поверхностях зерен.
V1 до V2 - пробиваются оксидные пленки
V2 до V3 – микро нагрев контактов между отдельными зернами карбида кремния (появление дополнительных носителей заряда)
Эквивалентная схема варистора имеет вид
Рис.19.
В реальном варисторе таких параллельных цепочек очень много, следовательно, ВАХ – не ломаная, а плавная кривая.
Наряду с варисторами карбид кремния используется в вентильных разрядниках.
Рис.20.
Связующим веществом, скрепляющим зерна SiC, могут быть глины – такой материал называется тирит, если связующее вещество – жидкое стекло , то материал – вилит.
Арсенид галлия(GaAs)
Один из самых перспективных: ΔЭ=1,43 эВ это больше, чем у Si и Ge
Акцепторами могут быть Zn, Cu, Cd;
Донорами S,Se;
Tпл=1826°С;
Полупроводниковые приборы из GaAs превосходят по быстродействию приборы из (Si и Ge), благодаря большей подвижности электронов, а по рабочей t°C (до 450°C) даже Si.
Использование: дозиметры рентгеновского излучения, полупроводниковые лазеры, изготовление полевых транзисторов с барьерами Шоттки, генераторы Ганна – очень выгоден в оптоэлектронике (фото-, светодиоды, солнечные батареи)
Недостатки: токсичность, дороговизна.
Антимонид индия (InSb)
Tпл=1070°С
Самая высокая подвижность электронов и дырок, следовательно, самое высокое быстродействие. Ширина запрещенной зоны мала. ΔЭ=0,18 эВ. Даже при t = 20°С существует собственная проводимость.
Ярко выраженная фотопроводимость. Охватывает широкую область инфракрасного спектра, доходя до λ=8 мкм (Iфmax →6.7 мкм)
Применение: фотоэлементы высокой чувствительности, датчики Холла, термоэлектрические генераторы и холодильники.
Бинарные полупроводники используются для изготовления светодиодов.
Фосфид галлия(GaP)
Большая ΔЭ=2,3 эВ
Используется для светодиодов с красным и зеленым свечением.
Сложные полупроводники.
Сложные полупроводники вида , где А,В – III группа (Ga, Al,In), , С – V группа (P,As)
(GaxAl1-xAs) Известные давно, но не удается добиться повторяемости свойств.
ΔЭ и ξ очень сильно зависят от х
– термоэлектроника