Полученные зависимости
Выходные данные можно получить в виде таблицы:
Рис. 1.7 - Получение результатов в виде графика
Легко можно выбрать режим термообработки - длительный или импульсный (см.
 |
врезку справа):
Далее можно рассчитать удельное сопротивление легированного
Рис. 1.8. Выбор режима термообработки
поликремния и построить его зависимость от радиуса зерна:
Рис 1.9 Зависимость удельного сопротивления от радиуса зерна
Процесс моделирования лабораторной работы «Рост зерна поликремнияпридлительном и импульсном режимах термообработки» начинается с выбора режима термообработки и задания для него параметров. Для импульсного режима задаются такие параметры, как: начальный радиус зерна, длительность процесса, концентрация примеси и мощность импульса. Для длительного отжига задаются такие параметры, как температура процесса, начальный радиус зерна, концентрация примеси и длительность процесса.
Для длительного отжига студент может построить зависимости:
1) радиуса зерна от температуры,
2) конечного радиуса зерна от начального радиуса
3) радиуса зерна от длительности процесса
4) радиуса зерна от концентрации примеси
5) отношение концентраций вакансий всех зарядовых состояний в легированномполикремнии к нелегированному от длительности процесса
6) концентрации активных частиц длительности процесса
Для импульсного режима термообработки студент может построить зависимости:
1) радиуса зерна от мощности,
2) конечного радиуса зерна от начального радиуса
3) радиуса зерна от длительности процесса
4) радиуса зерна от концентрации примеси
5) отношение концентраций вакансий всех зарядовых состояний в легированномполикремнии к нелегированному от длительности процесса
6) концентрации активных частиц длительности процесса
Структура зерна поликремния характеризуется его средним размером, кристаллографической ориентацией и распределением по размерам. Размер зерна в существенной степени определяет распределение легирующих элементов по его объёму и, в конечном счете, влияет на величину проводимости плёнки поликремния.
ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 2
КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ОПТИМИЗАЦИИ РАЗМЕРА ЗЕРНА И УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНКИ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Цель работы: Изучить механизмы формирования структуры пленки поликристаллического кремния (поликремния) в процессе постэпитаксиальной обработки. Оценить влияние технологических факторов обработки (исходное состояние, длительность, температура), на этот процесс, изучить способы управления удельным сопротивлением плёнок.