Определение размеров трубопроводов окончательной откачки

производится исходя из требуемых значений проводимости. Для этого целесообразно из разработанной вакуумной схемы выделить расчетную схему окончательной откачки, на которой фиксируются все ограничения в размерах трубопровода, вызванные конструктивными, технологическими или иными соображениями, как это показано на рис.10.

Так при штенгельной откачке ЭВП наибольший диаметр стеклянного штенгеля (6-7 мм) ограничен газовыделением стекла в мо­мент отпая (из большого штенгеля больше поток газа при отпае), диаметр медного штенгеля (15 мм)- усилием пережима. Ми­нимальная длина штенгепя ограничена габаритами механизма отпая (ме­ханизма пережима) штенгеля и конструкцией откачного гнезда. При от­качке камер технологического оборудования диаметр трубопровода огра­ничен размерами присоединительного Фланца насоса окончательной от­качки, а длина- суммарной длиной высоковакуумного клапана (затвора) и присоединительных фланцев.

В простейшем случае, когда трубопровод может быть представлен длинной (L>lOd) цилиндрической трубой постоянного диаметра его проводимость может быть определена (для воздуха М=29, Т=293 К, молекулярный режим течения газа):

Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru , м3с-1 (6)

где:d- расчетный диаметр трубопровода окончательной откачки, м;

L- расчетная длина трубопровода окончательной откачки, м.

Наличие клапана или затвора с таким же диаметром прохода учиты­вается увеличением длины L на величина (2-6) d.

Диаметр отверстия трубопровода d обычно принимают равным услов­ному диаметру прохода Ду присоединительного фланца насоса.

При штенгельной откачке ЭВП обычно имеет место более сложный вариант расчета, т.к. трубопровод состоит не менее чем из двух участков различного диаметра.

Первый участок трубопровода- штенгепь, лимитирующий откачку ЭВП представляет стеклянную или медную трубку малого диаметра, с по­мощью которой ЗВП присоединяется к вакуумной системе. По окончании откачки стеклянный штенгель "отпаивается" (разделяется сквозным проплавлением), а медный "пережимается" (перекусывается "тупыми" но­жами, обеспечивающими герметичность места пережима).




 
  Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru

Рис.10. Расчетные схемы окончательной откачки: а) ЭВП на откачном посту (см. рис.1,а), 6) ЭВП на машине с золотником в области вы­сокого вакуума (см. рис.5,а); в) технологической камеры (см. рис.4,б); г) ЭВП метолом бесштенгельной откачки (см. рис.8,в).

Размеры штенгелей, обычно используемых для откачки ЭВП приведе­ны в таил.8.

Таблица 8

Размер стандартных штенгелей ЭВП

Откачиваемый Размеры штенгеля Материал
объект Диаметр (внутр.) dшт, мм Длина Lшт, мм  
НОЛН 3-5 70-100 стекло
ПУЛ 3-5 70-100 стекло
ЭЛТ 3-7 100-150 стекло
ЦЭЛТ 4-7 100-150 стекло
ЛБВ 3-6 70-100 стекло или металл
М 5-10 70-100 металл
К 5-15 100-150 металл

Второй участок трубопровода представляет собственно вакуумпровод окончательной откачки, который на расчетных схемах может быть представлен трубопроводом постоянного сечения, если элементы конс­трукций клапана, откачного гнезда, ловушки, золотника не диафрагмируют этот трубопровод.

В общем виде суммарная проводимость трубопровода состоящего из последовательно соединенных проводимостью Ui:

Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru , м3с-1 (7)

где: m- количество последовательно соединенных участков трубоп­ровода, учитываемых при расчете;

Суммарная проводимость трубопровода состоящего из параллельно со­единенных участков (например, в золотниковых машинах):

Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru , м3с-1 (8)

где: n- количество параллельно соединенных участков. Проводимость тонкой диафрагмы (длина L®0 определяется только ее площадью А:

Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru , м3с-1 (9)

где: Т- температура газа, К;

М- молекулярный вес газа, Кмоль;

Vi- объем газа, ударяющегося о единицу поверхности в единицу времени, Vi=ll7 м3м-2с-1 (при М = 29, Т = 293 К).

Проводимость трубопровода по сравнению с диафрагмой того же диаметра уменьшается за счет отражения молекул от стенок и их частичного возвращения в первоначальный объем, что может рассчитываться либо с помощью Формулы 7 (для этого надо знать проводимость участков следу­ющих за "диафрагмой"), либо учитываться коэффи­циентом Клаузинга:

Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru (10)

где:NS- суммарное число молекул, вошедших в трубопровод через впускное сечение;

Nобр- число "обратных" молекул, отраженных от стенок и вернув­шихся через впускное сечение.

В этом случае проводимость трубопровода произвольной формы может быть найдена как:

U=UД×K, (11)

где:UД- проводимость входного сечения рассматриваемого трубопровода.

Расчет проводимости по 11,10 обычно проводится для трубопроводов сложной конфигурации и для нахождения коэффициента К используют метод имитационного моделирования. Формулы для расчета проводимости участков трубопроводов с наиболее часто встречающейся конфигурацией (для молекулярного и вязкостного режимов течения газа) даны в табл.9.

При откачке в молекулярно-вязкостном режиме течения газа проводи­мость трубопровода может определяться:

UМВ=0,9UМ+UВ (12)

где:UМВ, UМ, UВ- расчетная проводимость трубопровода в молекуляр-

но-вяэкостном, молекулярном, вязкостном режимах, соответственно.

Таблица 9

Формулы для расчёта проводимости трубопроводов для газа, М=29, Т=293 К

Форма сечения трудопровода Проводимость
длиной l, м Молукулярный режим течения газа Вязкостный режим течения газа. (Рср- среднее давление в трубопроводе, Па)
круг диаметром d Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru
равносторонний треугольник со стороной а Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru
кольцо наруж. диам. d1 внутр. диам. d2 Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru
прямоугольник со сторонами а,b (a>b) Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru
a/b ³100
j 1,1 1,2 1,3 1,4 -
f 2,3 3,7 4,7 5,0 5,3

Для определения режима течения газа используется pd критерий, где d- в метрах, p- в Паскалях:

pd ³ 1,2 МПа - вязкостный режим (низкий вакуум);

1,2 > pd > 0,004 МПа - молекулярно-вяэкостный режим (средний вакуум);

pd £ 0,004 МПа - молекулярный режим (высокий вакуум). (13)

При штенгельной откачке ЭВП, поскольку общая проводимость тру­бопровода обычно лимитируется штенгелем, проводимость трубопровода может приниматься равной проводимости штенгеля. При молекулярном режиме откачки:

Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru , м3с-1 (14)

С помощью формулы 14 могут быть определены минимальные размеры штенгеля dШ, LШ (см. табл.8), обеспечивающие откачку потока газа из прибора с помощью выбранного насоса, т.е. обеспечивающие соотношение (5).

Примечание. В том случае, если проводимость выбранного штенгеля оказывается несколько ниже требуемой по соотношению (5), задача мо­жет быть решена увеличением времени обезгаживания прогреваемых дета­лей, что несколько уменьшит поток газовыделения, в соответствии с формулой (2).

В том случае, если проводимость штенгеля оказывается значитель­на меньше требуемой, должен быть принят метод бесштенгельной откачки ЭВП в камере, в которой прибор, разделённый предварительно на две части после откачки герметизируется. Опре­деление размеров трубопроводов производится с использованием формул 6 - 13, как указано выше. При этом следует помнить, что откачивае­мый объём равен уже не заданному объему ЭВП, а объему камеры VК, в ко­торой размещается прибор объемом V (VK»30 V). Расчетная (вакуумная) схема от­качки обычно упрощается, но кинематическая схема установки становится гораздо сложнее.

При штенгельной откачке ЭВП размеры d, L вакуумпровода оконча­тельной откачки (между насосом и штенгелем) выбираются минимальными, с учетом конструктивных соображений:

1) Диаметр d рекомендуется выбирать не меньшим, чем условный ди­аметр прохода Dу используемых клапанов, затворов, ловушек из стан­дартного ряда диаметров, а с другой стороны, не большим, чем диаметр впускного патрубка насоса окончательной откачки (см. табл.10).

Таблица 10

Условные диаметры прохода ДУ трубопроводов и коммутирующей вакуумной арматуры, 10-3 м

   
110*     140* 150* 175*   190*
      225*            
      325*              
    420*           480*    
                       

Примечание: ДУ со знаком * не рекомендуются к применению.

2) Длина L обычно получается не меньше чем сумма длин присоеди­нительные патрубков насоса, откачного гнезда клапана, золотника и определяется конструктивно.

При проверочном расчете по формулам 13, 12 определяется прово­димость каждого из участков расчетной схемы трубопровода, затем по формуле 7 или 8 определяется суммарная проводимость трубопровода, после чего определяется реальная быстрота откачки реципиента:

Определение размеров трубопроводов окончательной откачки - student2.ru (15)

где SН - быстрота действия насоса в данной области дав­лений, м3с-1.

U - суммарная проводимость трубопровода, м3с-1.

Проверочный расчет должен подтвердить правильность размеров тру­бопровода и типоразмера насоса, т.е. гарантировать условие (5), сог­ласна которому реальная быстрота откачки будет не меньше требуемой, опpeдeлeннoй по Формуле (1).

Наши рекомендации