Включение установки и получение низкого вакуума

· Подать напряжение на установку включив тумблер «380 В 50 Гц» на панели 7 (рис.6).

· Включить вакуумметр ВИТ-3 (п.1 рис.6) для прогрева.

· Включить форвакуумный насос NL кнопкой «ПУСК NL».

· Открыть клапан VM1 установив тумблер VM1 (рис.6) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.6) должна загореться соответствующая (VM1) индикаторная лампа зеленого цвета.

· После достижения разряжения в камере ~ 100 Па включить двухроторный вакуумный насос NZ кнопкой «ПУСК NZ» на панели 5 (рис.6).

· Снять зависимость показаний термопарного вакуумметра ВИТ-3 от времени работы двухроторного насоса с момента его включения. Отсчет давления следует проводить через равные промежутки давления (0,5 мВ). Откачку производить до середины шкалы показаний термопарного вакуумметра.

· Напустить воздух в систему (см. п. 2.3) и вновь произвести откачку и измерить зависимость показаний термопарного вакуумметра от времени.

· Используя калибровку термопарного вакуумметра (Приложение А), построить графики зависимость давления в установке от времени откачки (по оси абсцисс - время в секундах, по оси ординат- давление в Па или мм.рт.ст.)

Результаты работы представить в виде таблицы

Таблица 1

Время откачки (сек)	Давление (мВ)	Давление (Па)

2.3.Разгрузка (загрузка) рабочей камеры

Разгрузка рабочей камеры осуществляется в следующем порядке:

· Закрыть клапан VM1 установив тумблер VM1 (рис.6) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.6) должна загореться соответствующая (VM1) индикаторная лампа красного цвета.

· Открыть клапан VE1 установив тумблер VE1 (рис.6) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.6) должна загореться соответствующая (VE1) индикаторная лампа зеленого цвета.

Выключение установки

Выключение установки производится в обратном порядке.

· Закрыть клапан VM1 установив тумблер VM1 (рис.6) в положении «Закрыт». При этом на панели 5 (рис.6) должна загореться соответствующая (VM1) индикаторная лампа красного цвета.

· Открыть клапан VE1 установив тумблер VE1 (рис.6) в положении «Открыт» При этом на панели 5 (рис.6) должна загореться соответствующая (VE1) индикаторная лампа зеленого цвета.

· Выключить двухроторный вакуумный насос NZ кнопкой «СТОП NZ» на панели 5 (рис.6).

· Выключить форвакуумный насос NL кнопкой «СТОП NL».

· Выключить вакуумметр ВИТ-3 (п.1 рис.6).

· Убрать напряжение с установки выключив тумблер «380 В 50 Гц» на панели 7 (рис.6).

· Закрыть общий вентиль подачи воды на установку.

Лабораторная работа №5 «Получение и измерение высокого вакуума на установке КВО»

Цель работы:изучение работы вакуумных насосов и установок, измерение высокого вакуума ионизационным вакуумметром.

Электронный ионизационный преобразователь

Работа ионизационных манометрических преобразователей основана на ионизации газа электронным потоком и измерении ионного тока по которому судят о давлении. Конструкция манометрических преобразователей

приведена на рис.2.

В стеклянном баллоне смонтирована трехэлектродная система, состоящая из коллектора ионов, анодной сетки и прямонакального катода. На анодную сетку подается напряжение +200 В относительно катода, а на цилиндрический коллектор −50 В. Анодная сетка выполнена из вольфрамовой проволоки в виде спирали. При прогреве преобразователя и его обезгаживании по спирали пропускается ток 3А. Вольфрамовый катод преобразователя испускает электроны, которые ускоряются электронным полем и движутся к анодной сетке. Часть электронов пролетают в пространство между анодной сеткой и коллектором. Так как коллектор имеет отрицательный потенциал относительно катода электроны останавливаются и начинают движение обратно к анодной сетке.

В результате у сетки колеблются электроны, причем прежде чем попасть на нее, электроны совершают в среднем 5 колебаний. При столкновении электронов с молекулами газа происходит ионизация молекул. Образовавшиеся положительные ионы попадая на коллектор, создают в его цепи электрический ток. Как показывает опыт, при достаточно низких давлениях (ниже 10⁻³ мм.рт.ст.) ионный ток коллектора прямо пропорционален давлению газа, т.е. Р ~ I_{коллектора}.