Печать компании Дата выдачи Подпись

26.06.2014 Йоханн Трайбер

Руководитель проверочной лаборатории

Печать: reinraummesstechnik

Йоханн Трайбер

Ул. Thingauer Straße 11, D-B7648 Алтранг

Телефон +4983439792, Факс +498343 9791

И-мейл: info@ reinraummesstechnik.de

Сайт: www.reinraummesstechnik.de

Протокол снятия показаний от 26.06.2014 Страница 2 из 3 CI 500B EC Проверочный сертификат №814064820

1. Объект калибровки

Объект калибровки CI 500B EC – это аэрозольный счётчик частиц для измерения количества частиц, частицы с помощью 6 каналов разделяются по размеру от 0,3 мкм до 25,0 мкм, а так же объёма.

Максимальная концентрация частиц составляет 1000000 Частиц/кубический фут/м в режиме «TOTAL COUNT» @ 0.3μ

2.Метод калибровки

Калибровка проведена путём прямого сравнения показаний контрольного прибора и показаний объекта калибровки (полученный/заданный показатель). Количество частиц и точность подсчёта были измерены с помощью контрольного счётчика, классификация по размеру была проведена с помощью латексных частиц разного размера, которые использованы в качестве стандарта. При этом стандартные частицы испытаны в качестве разведённой аэрозольной смеси.

Изготовитель Модель Предмет Серийный номер Проверочный номер Следующая проверка

Climet CI-500B Счётчик частиц 056135 235-10453 03/2015

Canberra Series 20 Импульсный анализатор 389935 04-2014 04/2015

Fluke 8846A Цифровой мультиметр 1329033 037132-02 04/2016

Fluke K-8920A Цифровой мультиметр 4035005 037133-02 04/2016

Tektronix 2211 Осциллоскоп Е200825 037134-02 04/2016

Rota-Yokogawa l63/ 2400 Titan Расходометр 22274 037135-02 04/2016

Tektronix TG501 Калибратор осциллоскопа В033773 037138-02 04/2016

Tektronix PG 506 Калибратор осциллоскопа В035139 037140-02 04/2016

4. Стандарты частиц

Изготовитель Предмет Номинальный размер Расхождение Номер партии/Серийный номер

Duke Scientific Полистироловые сферы 0.3 мкм ±0.006 мкм 34534

Duke Scientific Полистироловые сферы 0.5 мкм ±0.005 мкм 34605

Duke Scientific Полистироловые сферы 1.0 мкм ±0.021 мкм 34650

Duke Scientific Полистироловые сферы 5.0 мкм ±0.056 мкм 38174

5. Погрешности

Всасываемый объём ± 1.8%

Время замера ±1%

Концентрация ±20% @0.3 мкм, ± 10% @ ≥ 0.5 мкм

Разрешающая способность < 15%

Анализатор амплитуд импульсов ±1/5%

Постоянное напряжение 0.02%

Переменное напряжение 20 МГц 0.5 дб.

6. Условия окружающей среды

Температура (23±2) °С

Относительная влажность (40±20) %

7. Условия измерения

Объект проверки для уравнивания температур помещён в измерительную комнату на 1 час.

Протокол снятия показаний от 26.06.2014 Страница 3 из 3 CI 500B EC 067343 Проверочный сертификат №814064820

8. Результаты измерений

Параметры измерений	Требуемые показатели	При входе	После проверки	Требования выполнены
Проточный расход	28.3 сл³/м ± 5%	28.3 сл³/м	28.3 сл³/м	да
Ось времени	60.0 с ± 1%	60.0 секунд	60.0 секунд	да
Мощность лазера	125 mAmp DC (DC - постоянный ток)± 10%	128 mAmp DC	128 mAmp DC	да
Контрольный лазер	10.00 В DC ± 3.0%	10.00 В DC	10.00 В DC	да
Цифровой контроль	230 мВ DC ± 5.0%	230 мВ DC	230 мВ DC	да
Световой датчик @ TP5	Параллельное присоединение	36 RMS (среднеквадратичный) мВ	36 RMS мВ	да
Шум @TP3 @ 0.3 мкм	< 170 мВ максимум	125 мВ максимум	125 мВ максимум	да
Оценка ошибочного подсчёта @ 0.3 мкм	< 7 значений/м³	0 значений	0 значений	да
Точность подсчёта @ 0.3 мкм	(50±20) %	50%	50%	да
Точность подсчёта @ 0.5 мкм	(100±10) %	100%	100%	да

Параметры измерений	Требуемые показатели ± 10%	При входе	После проверки	Требования выполнены
Измерительный канал цифрового усиления 0.3 мкм	230 мВ	230 мВ	230 мВ	да
Измерительный канал высокого коэффициента усиления 0.5 мкм	150 мВ	150 мВ	150 мВ	да
Измерительный канал высокого коэффициента усиления 1.0 мкм	820 мВ	820 мВ	820 мВ	да
Измерительный канал малого усиления 5.0 мкм	270 мВ	270 мВ	270 мВ	да