Порядок выполнения работы на микроинтерферометре
Настройка микроинтерферометра:
1. Включите лампу 12 и положите испытуемую деталь 11 на столик прибора исследуемой поверхностью вниз (к объективу) (рис. 1.10). Для настройки правильного освещения необходимо обратиться к лаборанту.
Рис. 1.10. Микроинтерферометр Линника
2. Поверните рукоятку 2 так, чтобы отгравированная на ней стрелка расположилась вертикально, и с помощью микрометрического винта 4 сфокусируйте интерферометр на исследуемую поверхность (получите ее резкое изображение).
3. Поворотом рукоятки 2включите головку объектива 5 (стрелка на рукоятке должна расположиться горизонтально); при этом в поле зрения должны быть видны интерференционные полосы (аналогичные, изображенным, на рис. 1.9).
4. С помощью микрометрического винта 1 добейтесь наиболее резкого изображения полос и такого положения, при котором в поле зрения будут видны одновременно изображение контролируемой поверхности и интерференционная картина.
5. Для получения бóльшей контрастности полос рекомендуется поворотом кольца 7 несколько уменьшить отверстие апертурной диафрагмы.
6. Необходимый для работы интервал между полосами интерференционной картины установите вращением головки винта 3 вокруг собственной оси.
7. Поворотом винта 3 вокруг оси головки объектива 5 установите интерференционные полосы перпендикулярно штриху (исследуемой царапине) на испытуемой поверхности.
8. Для работы с монохроматическим светом включите один из светофильтров, сдвинув пластину 6 до упора.
Измерение с помощью винтового окулярного микрометра
и обработка результатов
Оценка качества полированной поверхности производится по результатам ряда измерений, выполняемых с помощью окулярного микрометра. Перед началом измерений следует, поворачивая окулярный микрометр 8 вокруг своей оси, выставить его так, чтобы подвижный индекс, состоящий из двух рисок, совпал с направлением интерференционных полос (в неискривленной их части) (рис. 1.11).
Затем для определения высоты или глубины одной из находящихся в поле зрения микроинтерферометра неровностей, выполните следующие операции:
а) измерьте интервал между интерференционными полосами d;
б)измерьте высоту изгиба полосы DN;
в) вычислите глубину или высоту неровности h по формуле
, (1.15)
где 
среднее значение длины волны используемого освещения: для белого света (в отсутствии светофильтра) принимается 
0,54 мкм., в случае желтого светофильтра – 0,59 мкм., а в случае зеленого светофильтра – 0,55 мкм.
Рис. 1.11. Измерение величин 
и 
с помощью винтового окулярного микрометра
Для определения интервала между интерференционными полосамиивысоты их изгибаперекрестие в поле зрения окулярного микрометра совместите с серединой одной из тёмных полос, а затем по неподвижной шкале в поле зрения и по барабану микрометрического винта произведите отсчет величины 
. Полные миллиметры отсчитываются по шкале, десятые и сотые доли миллиметра – по барабану винта. Вращая барабан микрометрического винта, совместите перекрестие с серединой соседней тёмной полосы и производите отсчет величины 
, а затем наведите перекрестие на вершину изгиба этой полосы и произведите отсчет величины 
. По формулам
, (1.16)
(1.17)
вычислите интервал между интерференционными полосами и высоту изгиба. Локальную глубину неровности 
определите по формуле (1.15).
Таблица 1.1
| № цара- пины | № изме-рения | , мм | , мм | , мм |  , мм |  , мм |  , мкм |  , мкм |  , мкм |
Пункты «а», «б» и «в» для одной и той же царапины следует повторить еще два раза, выбирая в качестве начальной каждый раз другую интерференционную линию. Среднее значение глубины выбранной неровности найдите путём усреднения
, (1.18)
где 
- измерений, выполненных для 
-ой царапины.
Все измеренные и вычисленные величины занесите в табл. 1.1.
Перемещая столик с образцом винтами 9 и 10 (см. рис. 1.11), в поле зрения окулярного микрометра введите другую неровность и для неё произведите описанные выше измерения и расчёты.
Для получения усредненного значения неровности по всей исследуемой поверхности
(1.19)
необходимо найти среднюю высоту или глубину как минимум трех неровностей на этой поверхности. В формуле (1.19) 
- число исследованных царапин.
Получив значение , определите класс шероховатости поверхности по табл. 1.2, в которой приведены предельные значения для пяти классов шероховатости поверхности по ГОСТ 2789–73.
Таблица 1.2
| Класс шероховатости | |||||
| , мкм | 0,5–0,8 | 0,25–0,5 | 0,12–0,25 | 0,06–0,12 | до 0,06 |
Примечания:
Если царапина имеет глубину h за пределами классов 10–14, то прибор МИИ-4 измерения не выполнит.